μ phase高精度干涉仪用于测量高精度要求的光学零件，材料包括玻璃、塑料、金属、陶瓷等，被国家计量院，以及各大天文、光电研究所应用于精密光学检测，测量精度及稳定性已得到研究机构的广泛肯定。
应用范围：
可用于测量平面和球面光学零件
可完成各种类型的反射和透射检测
可采用透射法检测双胶合透镜
曲率半径测量
非球面、柱面、轮胎面等面型的测量
大型平面的检测
光学材料的均匀性检测
理想的成盘抛光分块镜面型检测
典型应用
μphase® sphero up， μphase® plano up，μphase® plano down
l 用于测量不同的平面和球面光学零件
l 操作直观而简单，适合非专业人士操作
l 测量范围：
μphase® plano down：平面φ≤2 mm 至 150 mm
μphase® plano up：平面φ≤2 mm 至 100 mm
μphase® sphero up：球面，曲率半径（凸面）2mm—225mm，直径最大55mm
球面，曲率半径（凹面）-3mm—-570mm
l 结构紧凑，占用空间下，可灵活的与产线结合
μphase® vertical
l 适用于厂房、车间、实验室的标准干涉仪检测系统
l 立式检测，结构紧凑，占地面积小
l 标配一个沿z轴方向电动平移的平台，可选配第二个平台
l 倾斜及x/y平移精调
l 可完成各种类型的反射与透射检测
l 可采用透射法检测双胶合透镜
l 凹面与凸面球面镜的检测范围：标准曲率半径范围：1mm-225mm，直径最大55mm（采用50mm物镜μlens plano 50）
l 集成半径测量单元
l 可选cgh，用于测量非球面、柱面、轮胎面等
l z轴方向设置导轨电机，电动升降
l 曲率半径实现一键式自动测量
μphase® universal 100
l 用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统
l 球面测量范围：凹面曲率半径最大-3000mm（提供相应导轨）
l 平面测量范围：最大98mm
l 半径测量系统集成导轨和光栅尺
l 适合长焦光学零件和系统的检测
l 与市场上通用的4英寸标准球面物镜相兼容
l 可选旋转对称非球面的检测配件，检测范围10mm-80mm，cgh检测轮胎面、柱面等
μphase® plano 300
l 理想的大型平面的检测系统，光学材料的均匀性检测系统
l 理想的成盘抛光分块镜面形检测系统
l 测量范围60-300mm
l 立式检测系统，其它检测方式根据要求可订制
l 具有重型光学元件的支承、调整等操作功能。
技术规格：
测量原理
泰曼格林型相移式干涉仪，可转成菲索型
测量能力
光学反射面的面形、光学零件或系统的透过波前
激光波长
标配632.8nm，335nm-1064nm间波长可选
pv重复精度
λ/400（λ=632.8nm）
rms重复精度
λ/6500（λ=632.8nm）
测量不确定度
λ/20（λ=632.8nm）
相机分辨率
μphase® 500：500×500像素
μphase® 1000：1000×1000像素
数字化位
8位
激光器类型
稳频氦氖激光器
激光器防护等级
3a
上海特彩机电设备有限公司
13370288585
中国 上海
